適用于氣體的Burkert質(zhì)量流量調(diào)節(jié)器 (MFC)/質(zhì)量流量計(jì) (MFM)
采用 MEMS 技術(shù)直接測(cè)量流量
測(cè)量和重復(fù)精度高
反應(yīng)時(shí)間非常之短
現(xiàn)場(chǎng)總線通信基于 CANopen
Burkert氣體流量控制器 (MFC)/流量測(cè)量?jī)x (MFM)
標(biāo)稱流量范圍從 20 lN/min 至最高 2500 lN/min
測(cè)量精度和重復(fù)性高
通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)或工業(yè)以太網(wǎng)進(jìn)行通信
電磁和電動(dòng)閥門執(zhí)行機(jī)構(gòu)可用
通過(guò)配置存儲(chǔ)器便于設(shè)備更換